現今我們生活中的許多劃時代的産品都離不開半導體技術。如果沒有真空技術,許多具有開拓性的發明諸如晶體管、集成電路是不可能成為現實的。這些半導體芯片被用于生産電腦、手機、數碼相機、MP3、DVD播放機、平闆顯示器、閃存、汽車控件和家用電器。許多此類的産品隻能在潔淨的真空環境下進行生産。憑借着豐富的産品組合,普發真空為半導體技術提供完整的解決方案。使用為半導體fab量身設計的産品,普發真空提供着令人映像深刻的一站式解決方案。

 

普發真空半導體fab完整的解決方案

 

我們的産品可用于fab中4個不同的樓層。最上一層的潔淨室包括産品生産和特殊的處理系統如APA 302APR 4300。它們可以進行高質量的污染物處理。ASM 380檢漏儀提供工廠技術人員進行日常管路的巡檢和确保生産質量。此外,渦輪分子泵DigiLine真空計則同PrismaPlus質譜儀一同安裝在機台内。集成的A 100 L ES 提供真空給預載室或傳送腔。它可以安裝在靠近腔體處,也可以是集成在系統中或者安裝在下一層fab中。

系統的冷卻設備、供電和射頻發生器被安裝在更下面一層。最低下一層則是真空幹泵和減排系統。

 

普發真空的産品的衆多應用

 

所有的矽晶片的生産工藝階段都在fab内進行:比如刻蝕、檢測、鍍膜、雕刻工藝和離子注入。晶片生産廠商本身、零配件和包裝則有特定的生産區域。

來自于普發真空的解決方案廣泛的使用在諸如這類的fab工廠裡,為半導體領域的精密生産和獨立的設計制造提供了整體的解決方案。

 

普發真空提供渦輪分子泵、前級泵、真空泵組、檢漏儀、真空計在如下的具體工藝中:

  • 真空鍍膜

  • CVD工藝

  • 刻蝕

  • 離子注入和雕刻工藝

  • 真空傳送

  • 晶盤轉送

  • 電子顯微鏡(SEM and SLM)

 

 

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