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QMS系列材料放氣分析系統

QMS材料放氣率測試系統是為了實現對特定材料/産品在特定環境下的放氣速率測試而開發的産品。

                                                

例如:

空間科學載荷儀器中電子元器件、電路闆材料、運動部件潤滑材料以及其他結構性材料在超高真空環境中的材料放氣率進行測試,主要用于保證載荷有效運行,減少器件和材料放氣累積對如光學系統的污染。

對半導體器件、光刻膠等在特定環境下的放氣率測試,用于工藝開發、産品質量評估等。

                                                      

依據樣品尺度、真空度/溫度、測試氣體質量數等要求,QMS具有一系列對應産品,亦可以對操作軟件進行一定程度的定制。

                                                                                                  

 




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