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                              過程及工藝監測質譜儀HPA/SPM220

HPA220是一款高壓質譜儀,其進樣壓力範圍從真空到50mbar.    

- HPA220具有多個數字量或者模拟量通訊接口

- 結構緊湊,非常易于集成

- 通過一台PC機即可方便的操作

技術參數:

質量數(可選):1-100amu, 1-200amu,1-300amu

最小檢測極限:1X10-14 hPa

進樣壓力(可選):1mbar, 8mbar, 50mbar

重量:15Kg

 

SPM 220是專為鍍膜工藝過程中的氣體監測設計研發的

SPM 220 優勢:
鍍膜工藝監測器離子源,适用于瞬時過程監測
對氣體H2、O2、H2O 和 CO2 優秀檢測極限
對測量結果的最小化背景影響
壓力高達 10 hPa 的壓差版本
多重操作允許帶單個 PC 的多個質譜儀系統進行數據評估
緊湊設計,易于系統集成
通過各種數字和模拟輸入和輸出

技術參數:

質量數(可選):1-100amu, 1-200amu

檢測極限(氩中):二氧化碳< 100 ppb

檢測極限(氩中):氧氣< 100 ppb

檢測極限(氩中):水蒸氣< 500 ppb or < 6000 ppb

進樣壓力(可選):1mbar, 8mbar, 10mbar

重量:13Kg

 

 

 




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