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CombLine羅茨泵機組 - 幹式、油式的多級羅茨泵機組

羅茨泵與多級前級泵相結合。該泵站的高抽速使得較高的極限壓力成為現實。
幹式羅茨泵站是面向高要求工藝(例如半導體行業)的一流解決方案。減少了保護設備的泵站可用于需求稍松的工藝,例如裝載互鎖應用,或在濺射工藝中用作前級泵。從小真空室到太能陽技術最大吞吐量和顯示面闆制造,我們都可以提供解決方案。

優勢

  • 幹燥無油的吸入室
  • 這些解決方案提供了最優泵容量和高可靠性。

應用

  • 鍍膜
  • 冶金
  • 真空幹燥
  • 脫氣
  • 光伏
  • 研發
  • 化學工業

将傳統羅茨泵與油潤滑旋片泵相結合。這些泵組提供良好的真空度,同時有較高的抽速。将旋片泵與羅茨泵結合以獲得泵組,這種方式可謂經典解決方案,可以實現真空室的快速排空和中高真空下的工藝氣流傳輸。對于許多行業工藝而言,使用油封前級泵仍然是最好的選擇,因為就購買價格以及産品生命周期成本而言,它代表了最耐用和最具成本效益的解決方案。

優勢

  • 從最基本的泵系統到最全面的泵系統,一應俱全
  • 最優泵容量和高可靠性

應用

  • 裝載互鎖
  • 鍍膜
  • 冶金
  • 研發
  • 一般工業應用

 




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