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多級羅茨幹泵

抽速最高達4500m3/h的多系列、多型号多級羅茨幹泵,它們适合應用于不同場合,包括科研、半導體、太陽能、鍍膜等行業,不同的型号适用于完全純淨、粉塵污染、氣體腐蝕等不同負載。

清潔和幹燥應用的最佳解決方案

普發真空多級羅茨泵為各種應用和市場提供清潔和幹燥的真空環境。
例如,小型 ACP 多級羅茨泵在粒子加速器中創建渦輪分子泵所需的前級真空。具有高抽速和低極限壓力的大型 ACP 120 泵可用于冷凍幹燥應用。A 100、A3P、A4 或 ADH 系列幹式泵在半導體和真空鍍膜行業中被大量地用作流程泵。所有這些應用都有一個共同點:它們均需要一個潔淨、幹燥的真空環境。在這類應用方面,多級羅茨泵技術是完美的解決方案。其無摩擦工作泵送模塊在轉子和定子之間無需潤滑劑和密封材料。所以,可以避免烴類的蒸汽回流。在泵的吸入室,不處理任何密封材料。這意味着泵裡沒有粒子,長期可靠且穩定,長期成本更低。

在潔淨制程中使用多級羅茨泵
ACP 系列的氣冷式羅茨多級泵很少需要保養,且其儀穩定的性能與衆不同。它們可用于分析儀器以及半導體生産和等離子清洗等潔淨制程。A 100 L 和 A 200 L 緊湊型羅茨泵體積小易于集成到系統中。半導體和光伏生産系統的裝載互鎖與傳輸室是這種類型泵的典型應用領域。ACP 120 系列帶有水冷卻的羅茨多級泵的泵心是采用真空壓鑄工藝制成,結構堅固。 就像羅茨真空泵組 ACG 600 一樣,它們被用于需要較高抽速的研發、真空鍍膜和冶金行業。

侵蝕性的應用不是問題
A3P 系列的多級羅茨泵是為半導體和光伏生産的中段工藝制程應用而開發,在此類應用中,必須傳輸少量的腐蝕性氣體或冷凝物。該泵是緊湊、高能效的。低噪音和低振動水平是該系列的突出特征。A4 系列泵的抽速可高達 1,800 m3/h,是用防腐材料制成的。介質耐受性以及高氣體流通量使這些多級羅茨泵成為半導體行業 CVD 工藝應用的最佳解決方案。ADH 系列專門為太陽能、半導體和 LED 市場的苛刻工藝應用而開發,為N2 和 H2 提供 600 至 4,500 m3/h 的高性能抽速。由于具有優異的抗靜态和動态内應力能力,所以泵能提供更強的安全性。

 




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