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磁懸浮渦輪分子泵
電磁軸承也被稱作“主動式磁懸浮軸承”,其轉子位置會被不間斷的監測和自動調整,并依靠自動平衡補償來實現無磨損、低震動的運行。保證轉子能持續穩定的工作。同時,這樣的軸承設計也實現了零維護和無潤滑油。
5軸磁懸浮渦輪分子泵

 

技術上的完美傑作

HiPace M和ATH 500 M擁有5軸磁軸承。利用這種軸承技術,轉子 的位置能被實時控制。在工作中,動平衡裝置會進行自動校準,可 以最小程度上減輕震動和工藝過程中産生的軸承位移。低能耗和極 低的維護成本确保了其極高的性價比。

超強的兼容性

是否覺得不同的界面接口标準讓您頭疼不已?我們的磁懸浮渦輪分 子泵能提供集成化的電子驅動裝置供您選擇,從而滿足各種不同界 面接口的連接需要。

可靠

我們ATH M和ATP M系列的磁懸浮渦輪分子泵擁有5軸磁軸轉子 監測系統和實時的轉子位移自動修正功能。通過采用這種高性能的 軸承技術,我們的泵不僅能确保長時間的穩定性和可靠性,同時運 行時也非常安靜。此系列軸承技術的泵在半導體、鍍膜和幹蝕刻等 離子體過程行業的高真空工藝中具有标杆地位,此外也廣泛應用于 許多其他工業行業和研發領域。

 

 

 

 

 

 




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